Growth Rate Control in SiC-Physical Vapor Transport Method Through Heat Transfer Modeling and Non-Stationary Process Conditions: Fid-Bau Portal

Growth Rate Control in SiC-Physical Vapor Transport Method Through Heat Transfer Modeling and Non-Stationary Process Conditions

Straubinger, T. L. / Bickermann, M. / Grau, M. / Hofmann, D. / Kadinski, L. / Muller, S. G. / Selder, M. / Wellmann, P. J. / Winnacker, A.

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Titel:

Growth Rate Control in SiC-Physical Vapor Transport Method Through Heat Transfer Modeling and Non-Stationary Process Conditions

Beteiligte:

Straubinger, T. L. (Autor:in) / Bickermann, M. (Autor:in) / Grau, M. (Autor:in) / Hofmann, D. (Autor:in) / Kadinski, L. (Autor:in) / Muller, S. G. (Autor:in) / Selder, M. (Autor:in) / Wellmann, P. J. (Autor:in) / Winnacker, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 39-42

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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