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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Fabrication of Compact Ion Implanter for Silicon Carbide Devices

    Beteiligte:

    Mitani, S. (Autor:in) / Yamaguchi, S. (Autor:in) / Furukawa, S. (Autor:in) / Nakata, T. (Autor:in) / Horino, Y. (Autor:in) / Ono, R. (Autor:in) / Hosokawa, Y. (Autor:in) / Miyamoto, M. (Autor:in) / Nishino, S. (Autor:in) / Nipoti, R.

    Erschienen in:

    Silicon Carbide and Related Materials 2004 ; 605-608

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 483/485

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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