Phase Formation at Rapid Thermal Annealing of Nickel Contacts on C-Face n-Type 4H-SiC: Fid-Bau Portal

Phase Formation at Rapid Thermal Annealing of Nickel Contacts on C-Face n-Type 4H-SiC

Ferrero, S. / Albonico, A. / Meotto, U. M. / Rambola, G. / Porro, S. / Giorgis, F. / Perrone, D. / Scaltrito, L. / Bontempi, E. / Depero, L. E.

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Ferrero, S. / Albonico, A. / Meotto, U. M. / Rambola, G. / Porro, S. / Giorgis, F. / Perrone, D. / Scaltrito, L. / Bontempi, E. / Depero, L. E.

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Titel:

Phase Formation at Rapid Thermal Annealing of Nickel Contacts on C-Face n-Type 4H-SiC

Beteiligte:

Ferrero, S. (Autor:in) / Albonico, A. (Autor:in) / Meotto, U. M. (Autor:in) / Rambola, G. (Autor:in) / Porro, S. (Autor:in) / Giorgis, F. (Autor:in) / Perrone, D. (Autor:in) / Scaltrito, L. (Autor:in) / Bontempi, E. (Autor:in) / Depero, L. E. (Autor:in)

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2004 ; 733-736

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 483/485

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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