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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Solid phase crystallisation of HfO2 thin films

    Beteiligte:

    Modreanu, M. (Autor:in) / Sancho-Parramon, J. (Autor:in) / O'Connell, D. (Autor:in) / Justice, J. (Autor:in) / Durand, O. (Autor:in) / Servet, B. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 118 ; 127-131

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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