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Phase transition in sputtered HfO2 thin films: A qualitative Raman study

Belo, G. S. / Nakagomi, F. / Minko, A. / da Silva, S. W. / Morais, P. C. / Buchanan, D. A.

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Titel:

Phase transition in sputtered HfO2 thin films: A qualitative Raman study

Beteiligte:

Belo, G. S. (Autor:in) / Nakagomi, F. (Autor:in) / Minko, A. (Autor:in) / da Silva, S. W. (Autor:in) / Morais, P. C. (Autor:in) / Buchanan, D. A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 261 ; 727-729

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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