Deposition of indium nitride films by activated reactive evaporation process

Deposition of indium nitride films by activated reactive evaporation process - a feasibility study

Patil, S. J. / Bodas, D. S. / Mandale, A. B. / Gangal, S. A.

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Titel:

Deposition of indium nitride films by activated reactive evaporation process - a feasibility study

Beteiligte:

Patil, S. J. (Autor:in) / Bodas, D. S. (Autor:in) / Mandale, A. B. (Autor:in) / Gangal, S. A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 245 ; 73-78

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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