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Anomalous characteristics of platelet defects formed by zero angle tilt hydrogen implantation in silicon wafers

Xiao, Q. / Tu, H.

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Titel:

Anomalous characteristics of platelet defects formed by zero angle tilt hydrogen implantation in silicon wafers

Beteiligte:

Xiao, Q. (Autor:in) / Tu, H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 8 ; 520-524

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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