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    Titel:

    Electrical properties of ultrathin Al~2O~3 films grown by metalorganic chemical vapor deposition for advanced complementary metal-oxide semiconductor gate dielectric applications

    Beteiligte:

    Skordas, S. (Autor:in) / Papadatos, F. (Autor:in) / Consiglio, S. (Autor:in) / Eisenbraun, E. T. (Autor:in) / Kaloyeros, A. E. (Autor:in) / Gusev, E. P. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 20 ; 1536-1543

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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