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    Titel:

    Investigation of organic impurities adsorbed on and incorporated into electroplated copper layers

    Beteiligte:

    Stangl, M. (Autor:in) / Dittel, V. (Autor:in) / Acker, J. (Autor:in) / Hoffmann, V. (Autor:in) / Gruner, W. (Autor:in) / Strehle, S. (Autor:in) / Wetzig, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 158-161

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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