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    Titel:

    Characteristics of sandwich-structured Al2O3/HfO2/Al2O3 gate dielectric films on ultra-thin silicon-on-insulator substrates

    Beteiligte:

    Cheng, X. (Autor:in) / Song, Z. (Autor:in) / Jiang, J. (Autor:in) / Yu, Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 1876-1882

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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