Influence of nanocrystalline structure of surface on boron gettering from silicon: Fid-Bau Portal

Influence of nanocrystalline structure of surface on boron gettering from silicon

Gorelkinskii, Y. V. / Abdullin, K. A. / Mukashev, B. N. / Kalykova, G. K. / Serikkanov, A. S.

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Titel:

Influence of nanocrystalline structure of surface on boron gettering from silicon

Beteiligte:

Gorelkinskii, Y. V. (Autor:in) / Abdullin, K. A. (Autor:in) / Mukashev, B. N. (Autor:in) / Kalykova, G. K. (Autor:in) / Serikkanov, A. S. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -AMSTERDAM THEN LAUSANNE- C ; 26 ; 822-825

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0928-4931

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1 / 660

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