HRTEM observation on microstructures in the Ge-implanted silicon wafers re-processed by solid phase epitaxy: Fid-Bau Portal

HRTEM observation on microstructures in the Ge-implanted silicon wafers re-processed by solid phase epitaxy

Xiao, Q. / Tu, H. / Zhou, Q. / Chang, Q. / Zhang, G. / Wang, J. / Ma, T.

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Titel:

HRTEM observation on microstructures in the Ge-implanted silicon wafers re-processed by solid phase epitaxy

Beteiligte:

Xiao, Q. (Autor:in) / Tu, H. (Autor:in) / Zhou, Q. (Autor:in) / Chang, Q. (Autor:in) / Zhang, G. (Autor:in) / Wang, J. (Autor:in) / Ma, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 9 ; 121-126

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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