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    Titel:

    An investigation of improved titanium/titanium nitride barriers for submicron aluminum-filled contacts by energy-filtered transmission electron microscopy

    Beteiligte:

    Rucki, A. (Autor:in) / Robl, W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    INTERNATIONAL JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH ; 97 ; 1037-1040

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2006

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1862-5282

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  669.9

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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