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    Titel:

    Aluminum titanium nitride films grown with multiple precursors

    Beteiligte:

    Sun, Y.-M.Y.-M. (Autor:in) / Endle, J.P. (Autor:in) / Ekerdt, J.G. (Autor:in) / Russell, N.M. (Autor:in) / Healy, M.D. (Autor:in) / White, J.M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 2 ; 253-261

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1999

    Format / Umfang:

    9 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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