Microdefects induced by cavitation for gettering in silicon wafer: Fid-Bau Portal

Microdefects induced by cavitation for gettering in silicon wafer

Macodiyo, D. O. / Soyama, H. / Masakawa, T. / Hayashi, K.

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Titel:

Microdefects induced by cavitation for gettering in silicon wafer

Beteiligte:

Macodiyo, D. O. (Autor:in) / Soyama, H. (Autor:in) / Masakawa, T. (Autor:in) / Hayashi, K. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 41 ; 5380-5382

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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