Optimization of microvia-technology using excimer laser for build-up layer application in microelectronics: Fid-Bau Portal

Optimization of microvia-technology using excimer laser for build-up layer application in microelectronics

Vervaet, A. / Siau, S. / De Baets, J. / Manirambona, B.

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Titel:

Optimization of microvia-technology using excimer laser for build-up layer application in microelectronics

Beteiligte:

Vervaet, A. (Autor:in) / Siau, S. (Autor:in) / De Baets, J. (Autor:in) / Manirambona, B. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 8243-8250

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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