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Microstructure of flow pattern defects in boron-doped Czochralski-grown silicon

Liu, C. / Hao, Q. / Zhang, J.

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Titel:

Microstructure of flow pattern defects in boron-doped Czochralski-grown silicon

Beteiligte:

Liu, C. (Autor:in) / Hao, Q. (Autor:in) / Zhang, J. (Autor:in)

Erschienen in:

RARE METALS -BEIJING- ENGLISH EDITION ; 25 ; 389-392

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1001-0521

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 669

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