Thickness dependence of electrical properties of ITO film deposited on a plastic substrate by RF magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Thickness dependence of electrical properties of ITO film deposited on a plastic substrate by RF magnetron sputtering

Kim, D. H. / Park, M. R. / Lee, H. J. / Lee, G. H.

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Titel:

Thickness dependence of electrical properties of ITO film deposited on a plastic substrate by RF magnetron sputtering

Beteiligte:

Kim, D. H. (Autor:in) / Park, M. R. (Autor:in) / Lee, H. J. (Autor:in) / Lee, G. H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 409-411

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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