Hybrid LCVD of micro-metallic lines for TFT-LCD circuit repair: Fid-Bau Portal

Hybrid LCVD of micro-metallic lines for TFT-LCD circuit repair

Park, J. B. / Kim, C. J. / Shin, P. E. / Park, S. H. / Kang, H. S. / Jeong, S. H.

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Titel:

Hybrid LCVD of micro-metallic lines for TFT-LCD circuit repair

Beteiligte:

Park, J. B. (Autor:in) / Kim, C. J. (Autor:in) / Shin, P. E. (Autor:in) / Park, S. H. (Autor:in) / Kang, H. S. (Autor:in) / Jeong, S. H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 1029-1035

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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