A Study of Nitrogen Incorporation in PVT Growth of n^+ 4H SiC: Fid-Bau Portal

A Study of Nitrogen Incorporation in PVT Growth of n^+ 4H SiC

Hansen, D. M. / Chung, G. / Loboda, M. J.

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Titel:

A Study of Nitrogen Incorporation in PVT Growth of n^+ 4H SiC

Beteiligte:

Hansen, D. M. (Autor:in) / Chung, G. (Autor:in) / Loboda, M. J. (Autor:in) / Devaty, R. P. / Larkin, D. J. / Saddow, S. E.

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials - 2005 ; 59-62

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 527/529

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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