Design of a Rubber Membrane under Substrate for Nanoimprint Lithography Process: Fid-Bau Portal

Design of a Rubber Membrane under Substrate for Nanoimprint Lithography Process

Han, S. W. / Seo, K. J. / Lee, J. J. / Lee, S. W. / Lee, H. J. / Kim, J. Y.

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Titel:

Design of a Rubber Membrane under Substrate for Nanoimprint Lithography Process

Beteiligte:

Han, S. W. (Autor:in) / Seo, K. J. (Autor:in) / Lee, J. J. (Autor:in) / Lee, S. W. (Autor:in) / Lee, H. J. (Autor:in) / Kim, J. Y. (Autor:in) / Lee, S.-B. / Kim, Y.-J.

Erschienen in:

Experimental Mechanics in Nano and Biotechnology ; 345-348

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 326/328

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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