Phosphorus diffusion in the presence of threading dislocations in strain relaxed SiGe films: Fid-Bau Portal

Phosphorus diffusion in the presence of threading dislocations in strain relaxed SiGe films

Christensen, J. S. / Kuznetsov, A. Y. / Gunnaes, A. E. / Svensson, B. G. / Radamson, H. H.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Phosphorus diffusion in the presence of threading dislocations in strain relaxed SiGe films

Christensen, J. S. / Kuznetsov, A. Y. / Gunnaes, A. E. / Svensson, B. G. / Radamson, H. H.

Phosphorus diffusion in the presence of threading dislocations in strain relaxed SiGe films

Christensen, J. S. / Kuznetsov, A. Y. / Gunnaes, A. E. / Svensson, B. G. / Radamson, H. H.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Phosphorus diffusion in the presence of threading dislocations in strain relaxed SiGe films

Beteiligte:

Christensen, J. S. (Autor:in) / Kuznetsov, A. Y. (Autor:in) / Gunnaes, A. E. (Autor:in) / Svensson, B. G. (Autor:in) / Radamson, H. H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 9 ; 650-654

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

Wang, C. C. / Sheu, Y. M. / Liu, S. et al. | British Library Online Contents | 2005

Investigation of dislocations in composition graded and strain relaxed SiGe epitaxial layer by cathodeluminescence

Sumitomo, T. / Kita, H. / Matsumoto, S. | British Library Online Contents | 2006

Wafer bonding involving strain-relaxed SiGe

Radu, I. / Singh, R. / Reiche, M. et al. | British Library Online Contents | 2005

Growth and characterization of strain-relaxed SiGe buffer layers on Si(001) substrates with pure-edge misfit dislocations

Taoka, N. / Sakai, A. / Egawa, T. et al. | British Library Online Contents | 2005

Capture cross-section of threading dislocations in thin films

Fertig, R. S. / Baker, S. P. | British Library Online Contents | 2012

Nach oben