Impact of germanium surface passivation on the leakage current of shallow planar p-n junctions: Fid-Bau Portal

Impact of germanium surface passivation on the leakage current of shallow planar p-n junctions

Satta, A. / Nicholas, G. / Simoen, E. / Houssa, M. / Dimoulas, A. / De Jaeger, B. / Van Steenbergen, J. / Meuris, M.

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Titel:

Impact of germanium surface passivation on the leakage current of shallow planar p-n junctions

Beteiligte:

Satta, A. (Autor:in) / Nicholas, G. (Autor:in) / Simoen, E. (Autor:in) / Houssa, M. (Autor:in) / Dimoulas, A. (Autor:in) / De Jaeger, B. (Autor:in) / Van Steenbergen, J. (Autor:in) / Meuris, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 9 ; 716-720

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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