Ion-implantation issues in the formation of shallow junctions in germanium: Fid-Bau Portal

Ion-implantation issues in the formation of shallow junctions in germanium

Simoen, E. / Satta, A. / D'Amore, A. / Janssens, T. / Clarysse, T. / Martens, K. / De Jaeger, B. / Benedetti, A. / Hoflijk, I. / Brijs, B.

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Simoen, E. / Satta, A. / D'Amore, A. / Janssens, T. / Clarysse, T. / Martens, K. / De Jaeger, B. / Benedetti, A. / Hoflijk, I. / Brijs, B.

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Titel:

Ion-implantation issues in the formation of shallow junctions in germanium

Beteiligte:

Simoen, E. (Autor:in) / Satta, A. (Autor:in) / D'Amore, A. (Autor:in) / Janssens, T. (Autor:in) / Clarysse, T. (Autor:in) / Martens, K. (Autor:in) / De Jaeger, B. (Autor:in) / Benedetti, A. (Autor:in) / Hoflijk, I. (Autor:in) / Brijs, B. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 9 ; 634-639

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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