Interface characterization of high-k dielectrics on Ge substrates: Fid-Bau Portal

Interface characterization of high-k dielectrics on Ge substrates

Misra, D. / Garg, R. / Srinivasan, P. / Rahim, N. / Chowdhury, N. A.

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Titel:

Interface characterization of high-k dielectrics on Ge substrates

Beteiligte:

Misra, D. (Autor:in) / Garg, R. (Autor:in) / Srinivasan, P. (Autor:in) / Rahim, N. (Autor:in) / Chowdhury, N. A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 9 ; 741-748

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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