Praseodymium based high-k dielectrics grown on Si and SiC substrates: Fid-Bau Portal

Praseodymium based high-k dielectrics grown on Si and SiC substrates

Lo Nigro, R. / Toro, R. G. / Malandrino, G. / Fragala, I. L. / Raineri, V. / Fiorenza, P.

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Titel:

Praseodymium based high-k dielectrics grown on Si and SiC substrates

Beteiligte:

Lo Nigro, R. (Autor:in) / Toro, R. G. (Autor:in) / Malandrino, G. (Autor:in) / Fragala, I. L. (Autor:in) / Raineri, V. (Autor:in) / Fiorenza, P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 9 ; 1073-1078

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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