Investigation of processing parameters for pulsed closed field unbalanced magnetron sputtered titanium carbide thin films: Fid-Bau Portal

Investigation of processing parameters for pulsed closed field unbalanced magnetron sputtered titanium carbide thin films

Anton, J. M. / Mishra, B. / Moore, J. J.

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Titel:

Investigation of processing parameters for pulsed closed field unbalanced magnetron sputtered titanium carbide thin films

Beteiligte:

Anton, J. M. (Autor:in) / Mishra, B. (Autor:in) / Moore, J. J. (Autor:in)

Erschienen in:

SURFACE ENGINEERING -LONDON- ; 23 ; 23-27

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0267-0844

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44

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