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    Dokumentinformationen
    Titel:

    The structural deformations in the Si/SiGe system induced by thermal annealing

    Beteiligte:

    Zheng, S. (Autor:in) / Mori, M. (Autor:in) / Tambo, T. (Autor:in) / Tatsuyama, C. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 42 ; 5312-5317

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2007

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0022-2461

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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