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    Titel:

    FTIR Ellipsometry Analysis of the Internal Stress in SiC/Si MEMS

    Beteiligte:

    Pezoldt, J. (Autor:in) / Forster, C. (Autor:in) / Cimalla, V. (Autor:in) / Will, F. (Autor:in) / Stephan, R. (Autor:in) / Bruckner, K. (Autor:in) / Hein, M. (Autor:in) / Ambacher, O. (Autor:in) / Wright, N. / Johnson, C. M.

    Erschienen in:

    Silicon Carbide and Related Materials 2006 ; 363-366

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 556/557

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2007

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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