Fabrication of a Multi-Chip Module of 4H-SiC RESURF-Type JFETs: Fid-Bau Portal

Fabrication of a Multi-Chip Module of 4H-SiC RESURF-Type JFETs

Tamaso, H. / Shinkai, J. / Hoshino, T. / Tokuda, H. / Sawada, K. / Fujikawa, K. / Masuda, T. / Hatsukawa, S. / Harada, S. / Namikawa, Y.

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Titel:

Fabrication of a Multi-Chip Module of 4H-SiC RESURF-Type JFETs

Beteiligte:

Tamaso, H. (Autor:in) / Shinkai, J. (Autor:in) / Hoshino, T. (Autor:in) / Tokuda, H. (Autor:in) / Sawada, K. (Autor:in) / Fujikawa, K. (Autor:in) / Masuda, T. (Autor:in) / Hatsukawa, S. (Autor:in) / Harada, S. (Autor:in) / Namikawa, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2006 ; 983-986

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 556/557

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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