Ru-C Nano-Composite Films Prepared by PECVD as an Electrode for an Oxygen Sensor: Fid-Bau Portal

Ru-C Nano-Composite Films Prepared by PECVD as an Electrode for an Oxygen Sensor

Sakata, M. / Kimura, T. / Goto, T.

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Titel:

Ru-C Nano-Composite Films Prepared by PECVD as an Electrode for an Oxygen Sensor

Beteiligte:

Sakata, M. (Autor:in) / Kimura, T. (Autor:in) / Goto, T. (Autor:in) / Komeya, K. / Matsuo, Y. / Goto, T.

Erschienen in:

Innovation in Ceramic Science and Engineering ; 319-322

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 352

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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