Effect of substrate bias on b-SiC films prepared by PECVD: Fid-Bau Portal

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Effect of substrate bias on b-SiC films prepared by PECVD

Wang, B. / Liu, W. / Wang, G. J. / Liao, B. / Wang, J. J. / Zhu, M. K. / Wang, H. / Yan, H.

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Effect of substrate bias on b-SiC films prepared by PECVD

Beteiligte:

Wang, B. (Autor:in) / Liu, W. (Autor:in) / Wang, G. J. (Autor:in) / Liao, B. (Autor:in) / Wang, J. J. (Autor:in) / Zhu, M. K. (Autor:in) / Wang, H. (Autor:in) / Yan, H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 98 ; 190-192

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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