The Study of Microcrystalline Silicon Thin Films Prepared by PECVD: Fid-Bau Portal

The Study of Microcrystalline Silicon Thin Films Prepared by PECVD

Li, C.Y. / Zhang, H. / Li, J. / Li, X.F. / Zhang, J.H.

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Titel:

The Study of Microcrystalline Silicon Thin Films Prepared by PECVD

Beteiligte:

Li, C.Y. (Autor:in) / Zhang, H. (Autor:in) / Li, J. (Autor:in) / Li, X.F. (Autor:in) / Zhang, J.H. (Autor:in) / Zhang, C. / Chen, N. / Hu, J.

Erschienen in:

Inorganic Thin Films and Coatings ; 197-200

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 537

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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