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Quantitative analysis of thin-film conductivity by scanning microwave microscope

Okazaki, S. / Okazaki, N. / Hirose, Y. / Furubayashi, Y. / Hitosugi, T. / Shimada, T. / Hasegawa, T.

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Titel:

Quantitative analysis of thin-film conductivity by scanning microwave microscope

Beteiligte:

Okazaki, S. (Autor:in) / Okazaki, N. (Autor:in) / Hirose, Y. (Autor:in) / Furubayashi, Y. (Autor:in) / Hitosugi, T. (Autor:in) / Shimada, T. (Autor:in) / Hasegawa, T. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 757-759

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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