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    Dokumentinformationen
    Titel:

    CW laser induced crystallization of thin amorphous silicon films deposited by EBE and PECVD

    Beteiligte:

    Said-Bacar, Z. (Autor:in) / Prathap, P. (Autor:in) / Cayron, C. (Autor:in) / Mermet, F. (Autor:in) / Leroy, Y. (Autor:in) / Antoni, F. (Autor:in) / Slaoui, A. (Autor:in) / Fogarassy, E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 258 ; 9359-9365

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2012

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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