Low-temperature Au-induced crystallization of hydrogenated amorphous Si0.5Ge0.5 thin films using Au solution: Fid-Bau Portal

Low-temperature Au-induced crystallization of hydrogenated amorphous Si0.5Ge0.5 thin films using Au solution

Peng, S. / Shen, X. / Tang, Z. / He, D.

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Titel:

Low-temperature Au-induced crystallization of hydrogenated amorphous Si0.5Ge0.5 thin films using Au solution

Beteiligte:

Peng, S. (Autor:in) / Shen, X. (Autor:in) / Tang, Z. (Autor:in) / He, D. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 10 ; 150-154

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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