Fabrication of near-field optical probes using advanced functional thin films for MEMS and NEMS applications: Fid-Bau Portal

Fabrication of near-field optical probes using advanced functional thin films for MEMS and NEMS applications

Hyun, J. S. / Moon, J. S. / Park, J. H. / Kim, J. W. / Kim, Y. D. / Boo, J. H.

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Titel:

Fabrication of near-field optical probes using advanced functional thin films for MEMS and NEMS applications

Beteiligte:

Hyun, J. S. (Autor:in) / Moon, J. S. (Autor:in) / Park, J. H. (Autor:in) / Kim, J. W. (Autor:in) / Kim, Y. D. (Autor:in) / Boo, J. H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B ADVANCED FUNCTIONAL SOLID STATE MATERIALS ; 149 ; 292-298

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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