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SIMS analysis of insulating multilayer including silicon nitride

Ueki, Y. / Kawashima, T. / Ishiwata, O.

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Titel:

SIMS analysis of insulating multilayer including silicon nitride

Beteiligte:

Ueki, Y. (Autor:in) / Kawashima, T. (Autor:in) / Ishiwata, O. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 203-204 ; 453-456

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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