AFM testing of the nanomechanical behaviour of MEMS micromembranes: Fid-Bau Portal

AFM testing of the nanomechanical behaviour of MEMS micromembranes

Ekwinski, G. / Goehlich, A. / Trieu, K. / Rymuza, Z. / Koszewski, A.

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Titel:

AFM testing of the nanomechanical behaviour of MEMS micromembranes

Beteiligte:

Ekwinski, G. (Autor:in) / Goehlich, A. (Autor:in) / Trieu, K. (Autor:in) / Rymuza, Z. (Autor:in) / Koszewski, A. (Autor:in)

Erschienen in:

INTERNATIONAL JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH ; 99 ; 879-882

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1862-5282

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 669.9

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