Wet cleaning and surface characterization of Si1-xGex virtual substrates after a CMP step: Fid-Bau Portal

Wet cleaning and surface characterization of Si1-xGex virtual substrates after a CMP step

Abbadie, A. / Hartmann, J. M. / Besson, P. / Rouchon, D. / Martinez, E. / Holliger, P. / Di Nardo, C. / Campidelli, Y. / Billon, T.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Wet cleaning and surface characterization of Si1-xGex virtual substrates after a CMP step

Abbadie, A. / Hartmann, J. M. / Besson, P. / Rouchon, D. / Martinez, E. / Holliger, P. / Di Nardo, C. / Campidelli, Y. / Billon, T.

Wet cleaning and surface characterization of Si1-xGex virtual substrates after a CMP step

Abbadie, A. / Hartmann, J. M. / Besson, P. / Rouchon, D. / Martinez, E. / Holliger, P. / Di Nardo, C. / Campidelli, Y. / Billon, T.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Wet cleaning and surface characterization of Si1-xGex virtual substrates after a CMP step

Beteiligte:

Abbadie, A. (Autor:in) / Hartmann, J. M. (Autor:in) / Besson, P. (Autor:in) / Rouchon, D. (Autor:in) / Martinez, E. (Autor:in) / Holliger, P. (Autor:in) / Di Nardo, C. (Autor:in) / Campidelli, Y. (Autor:in) / Billon, T. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 6793-6798

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Bozzo, S. / Lazzari, J. L. / Hollander, B. et al. | British Library Online Contents | 2000

Si1−xGex bulk single crystals for substrates of electronic devices

Kinoshita, Kyoichi / Arai, Yasutomo / Maeda, Tatsuro et al. | British Library Online Contents | 2017

Room temperature oxidation of Cu3Ge and Cu3(Si1-xGex) on Si1-xGex

Liang, H. H. / Luo, J. S. / Lin, W. T. | British Library Online Contents | 2001

Raman spectroscopy of Si1-xGex epilayers

Pezzoli, F. / Martinelli, L. / Grilli, E. et al. | British Library Online Contents | 2005

Ripple morphologies on ion irradiated Si1-xGex

Sarkar, S. / Van Daele, B. / Vandervorst, W. | British Library Online Contents | 2008

Nach oben