Structural characterization of Si1-xGex/Si strained superlattices and relaxed virtual substrates grown by chemical vapor deposition: Fid-Bau Portal

Structural characterization of Si1-xGex/Si strained superlattices and relaxed virtual substrates grown by chemical vapor deposition

Bozzo, S. / Lazzari, J. L. / Hollander, B. / Coudreau, C. / Ronda, A. / Mantl, S. / D'Avitaya, F. A. / Derrien, J.

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Titel:

Structural characterization of Si1-xGex/Si strained superlattices and relaxed virtual substrates grown by chemical vapor deposition

Beteiligte:

Bozzo, S. (Autor:in) / Lazzari, J. L. (Autor:in) / Hollander, B. (Autor:in) / Coudreau, C. (Autor:in) / Ronda, A. (Autor:in) / Mantl, S. (Autor:in) / D'Avitaya, F. A. (Autor:in) / Derrien, J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 164 ; 35-41

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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