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    Titel:

    Trench formation and lateral damage induced by gallium milling of silicon

    Beteiligte:

    Russo, M. F. (Autor:in) / Maazouz, M. (Autor:in) / Giannuzzi, L. A. (Autor:in) / Chandler, C. (Autor:in) / Utlaut, M. (Autor:in) / Garrison, B. J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 828-830

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    3 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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