Experimental observation of FIB induced lateral damage on silicon samples: Fid-Bau Portal

Experimental observation of FIB induced lateral damage on silicon samples

Spoldi, G. / Beuer, S. / Rommel, M. / Yanev, V. / Bauer, A.J. / Ryssel, H.

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Experimental observation of FIB induced lateral damage on silicon samples

Spoldi, G. / Beuer, S. / Rommel, M. / Yanev, V. / Bauer, A.J. / Ryssel, H.

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Dokumentinformationen

Titel:

Experimental observation of FIB induced lateral damage on silicon samples

Beteiligte:

Spoldi, G. (Autor:in) / Beuer, S. (Autor:in) / Rommel, M. (Autor:in) / Yanev, V. (Autor:in) / Bauer, A.J. (Autor:in) / Ryssel, H. (Autor:in)

Erscheinungsdatum:

2008

DOI:

https://doi.org/10.24406/publica-fhg-360169

Medientyp:

Sonstige

Format:

Elektronische Ressource

Sprache:

Unbekannt

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