Accuracy of calibrated depth by delta-doped reference materials in shallow depth profiling: Fid-Bau Portal

Accuracy of calibrated depth by delta-doped reference materials in shallow depth profiling

Tomita, M. / Tanaka, H. / Koike, M. / Kinno, T. / Hori, Y. / Yoshida, N. / Sasaki, T. / Takeno, S.

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Titel:

Accuracy of calibrated depth by delta-doped reference materials in shallow depth profiling

Beteiligte:

Tomita, M. (Autor:in) / Tanaka, H. (Autor:in) / Koike, M. (Autor:in) / Kinno, T. (Autor:in) / Hori, Y. (Autor:in) / Yoshida, N. (Autor:in) / Sasaki, T. (Autor:in) / Takeno, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 1311-1315

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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