Modifying the properties of fluorinated amorphous films using argon by filtered cathodic vacuum arc: Fid-Bau Portal

Modifying the properties of fluorinated amorphous films using argon by filtered cathodic vacuum arc

Lin, Y. H. / Syue, Y. C. / Lin, H. D. / Chen, U. S. / Chang, Y. S. / Chen, J. R. / Shih, H. C.

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Modifying the properties of fluorinated amorphous films using argon by filtered cathodic vacuum arc

Beteiligte:

Lin, Y. H. (Autor:in) / Syue, Y. C. (Autor:in) / Lin, H. D. (Autor:in) / Chen, U. S. (Autor:in) / Chang, Y. S. (Autor:in) / Chen, J. R. (Autor:in) / Shih, H. C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 2139-2142

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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