Investigation of local order of a-SiN:H films deposited by hot wire chemical vapour deposition (HWCVD): Fid-Bau Portal

Investigation of local order of a-SiN:H films deposited by hot wire chemical vapour deposition (HWCVD)

Swain, B. P. / Swain, B. S. / Hwang, N. M.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Investigation of local order of a-SiN:H films deposited by hot wire chemical vapour deposition (HWCVD)

Swain, B. P. / Swain, B. S. / Hwang, N. M.

Investigation of local order of a-SiN:H films deposited by hot wire chemical vapour deposition (HWCVD)

Swain, B. P. / Swain, B. S. / Hwang, N. M.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Investigation of local order of a-SiN:H films deposited by hot wire chemical vapour deposition (HWCVD)

Beteiligte:

Swain, B. P. (Autor:in) / Swain, B. S. (Autor:in) / Hwang, N. M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 2557-2560

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Swain, B. P. / Pattanayak, D. K. | British Library Online Contents | 2008

Wet-Etching Characteristics of SiCN Films Deposited by HWCVD Method

Nakanishi, H. / Ogata, T. / Kadotani, Y. et al. | British Library Conference Proceedings | 2013

Photo-induced deposition and characterization of variable bandgap a-SiN:H alloy films

Banerji, N. / Serra, J. / Chiussi, S. et al. | British Library Online Contents | 2000

Effect of substrate temperature on gold-catalyzed silicon nanostructures growth by hot-wire chemical vapor deposition (HWCVD)

Chong, S. K. / Goh, B. T. / Aspanut, Z. et al. | British Library Online Contents | 2011

Effect of filament temperature on HWCVD deposited a-SiC:H

Swain, B. P. / Dusane, R. O. | British Library Online Contents | 2006

Nach oben