Simulation Study for HTCVD of SiC Using First-Principles Calculation and Thermo-Fluid Analysis: Fid-Bau Portal

Simulation Study for HTCVD of SiC Using First-Principles Calculation and Thermo-Fluid Analysis

Kitou, Y. / Makino, E. / Inaba, K. / Hosokawa, N. / Hiramatsu, H. / Hasegawa, J. / Onda, S. / Tsuboi, H. / Takaba, H. / Miyamoto, A.

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Titel:

Simulation Study for HTCVD of SiC Using First-Principles Calculation and Thermo-Fluid Analysis

Beteiligte:

Kitou, Y. (Autor:in) / Makino, E. (Autor:in) / Inaba, K. (Autor:in) / Hosokawa, N. (Autor:in) / Hiramatsu, H. (Autor:in) / Hasegawa, J. (Autor:in) / Onda, S. (Autor:in) / Tsuboi, H. (Autor:in) / Takaba, H. (Autor:in) / Miyamoto, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 600/603 ; 47-50

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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