Fachinformationsdienst BAUdigital

Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik

    Laser activation of Ultra Shallow Junctions (USJ) doped by Plasma Immersion Ion Implantation (PIII)

    Neue Suche nach: Vervisch, V.
    Neue Suche nach: Larmande, Y.
    Neue Suche nach: Delaporte, P.
    Neue Suche nach: Sarnet, T.
    Neue Suche nach: Sentis, M.
    Neue Suche nach: Etienne, H.
    Neue Suche nach: Torregrosa, F.
    Neue Suche nach: Cristiano, F.
    Neue Suche nach: Fazzini, P. F.

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Seitennavigation

    Dokumentinformationen
    Ähnliche Titel

    Exportieren, teilen und zitieren

    Laser activation of Ultra Shallow Junctions (USJ) doped by Plasma Immersion Ion Implantation (PIII)

    Neue Suche nach: Vervisch, V.
    Neue Suche nach: Larmande, Y.
    Neue Suche nach: Delaporte, P.
    Neue Suche nach: Sarnet, T.
    Neue Suche nach: Sentis, M.
    Neue Suche nach: Etienne, H.
    Neue Suche nach: Torregrosa, F.
    Neue Suche nach: Cristiano, F.
    Neue Suche nach: Fazzini, P. F.

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Laser activation of Ultra Shallow Junctions (USJ) doped by Plasma Immersion Ion Implantation (PIII)

    Neue Suche nach: Vervisch, V.
    Neue Suche nach: Larmande, Y.
    Neue Suche nach: Delaporte, P.
    Neue Suche nach: Sarnet, T.
    Neue Suche nach: Sentis, M.
    Neue Suche nach: Etienne, H.
    Neue Suche nach: Torregrosa, F.
    Neue Suche nach: Cristiano, F.
    Neue Suche nach: Fazzini, P. F.

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Seitennavigation

    Dokumentinformationen
    Ähnliche Titel

    Exportieren, teilen und zitieren

    Dokumentinformationen
    Titel:

    Laser activation of Ultra Shallow Junctions (USJ) doped by Plasma Immersion Ion Implantation (PIII)

    Beteiligte:

    Vervisch, V. (Autor:in) / Larmande, Y. (Autor:in) / Delaporte, P. (Autor:in) / Sarnet, T. (Autor:in) / Sentis, M. (Autor:in) / Etienne, H. (Autor:in) / Torregrosa, F. (Autor:in) / Cristiano, F. (Autor:in) / Fazzini, P. F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 5647-5650

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2009

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

    Ähnliche Titel

    Plasma immersion ion implantation for shallow junctions in silicon

    Pinter, I. / Abdulhadi, A. H. / Makaro, Z. et al. | British Library Online Contents | 1999

    Plasma immersion ion implantation (PIII) influence on Ti-6Al-4V alloy: Frequency effect

    Oliveira, V.M.C.A. / Cioffi, M.O.H. / Barboza, M.J.R. et al. | British Library Online Contents | 2018

    Microstructural Analysis of Ti-6Al-4V Alloy after Plasma Immersion Ion Implantation (PIII)

    Castagnet, M. / Yogi, L.M. / Silva, M.M. et al. | British Library Online Contents | 2012

    Effects of the high temperature plasma immersion ion implantation (PIII) of nitrogen in AISI H13 steel

    da Silva, L. L. / Ueda, M. / Mello, C. B. et al. | British Library Online Contents | 2008

    Structural, mechanical and hydrophobic properties of fluorine-doped diamond-like carbon films synthesized by plasma immersion ion implantation and deposition (PIII-D)

    Yao, Z. Q. / Yang, P. / Huang, N. et al. | British Library Online Contents | 2004

    Nach oben