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Plasma immersion ion implantation for shallow junctions in silicon

Pinter, I. / Abdulhadi, A. H. / Makaro, Z. / Khanh, N. Q. / Adam, M. / Barsony, I. / Poortmans, J. / Sivoththaman, S. / Song, H.-Z. / Adriacnssens, G. J.

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Titel:

Plasma immersion ion implantation for shallow junctions in silicon

Beteiligte:

Pinter, I. (Autor:in) / Abdulhadi, A. H. (Autor:in) / Makaro, Z. (Autor:in) / Khanh, N. Q. (Autor:in) / Adam, M. (Autor:in) / Barsony, I. (Autor:in) / Poortmans, J. (Autor:in) / Sivoththaman, S. (Autor:in) / Song, H.-Z. (Autor:in) / Adriacnssens, G. J. (Autor:in)

Erschienen in:

Proceedings of Symposium G on Surface Processing: Laser, Lamp, Plasma of the 1998 E-MRS Spring Conference - Strasbourg, France, June 16-1998 ; 224-227

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 138/139

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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