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    Titel:

    Characterization of SiOF Thin Films Deposited by PECVD from Hexamethyldisiloxane in Mixture with Oxygen and CF~4

    Beteiligte:

    Chabane, R. (Autor:in) / Sahli, S. (Autor:in) / Zenasni, A. (Autor:in) / Raynaud, P. (Autor:in) / Segui, Y. (Autor:in) / Gabouze, N.

    Erschienen in:

    Thin Films and Porous Materials ; 59-62

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 609

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2009

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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